Анаеробна фурна

Описание

Серията пещи с инертна атмосфера се използва в производството на полупроводници за предварително изпичане на силициеви пластини, галиев арсенид, литиев ниобат, стъкло преди PR покритие, печене на твърд филм след PR покритие и високотемпературно печене след проявяване; Също така е подходящ за производствени и научноизследователски отдели, като електронен дисплей с течни кристали, LCD, CMOS, IS и лаборатории; може също да се използва за сушене, топлинна обработка, стареене и други високотемпературни тестове на нелетливи, незапалими и неексплозивни предмети.

Основни параметри

►Технически параметри

Капацитет: Персонализиран според продуктите

Температурен диапазон: Околна среда +50°C ~ 250°C

Съдържание на кислород: ≤50ppm

Еднородност на температурата: ±2,5%

Скорост на нарастване: Контролируема

Вход за азот: Φ8

Дебит на азот: 0-240L/min * 2 канала

►Структура

. Вътрешна фурна: Изработена от неръждаема стомана и безшевно заварена с газ аргон.

. Херметически затворена: Камерата е запечатана, за да се намалят нивата на кислород.

. Структура за всмукване на въздух: Позволява на неокисляващи газове да запълнят камерата.

. O2 анализатор: Прецизно регулиране на нивата на кислород между 0,5~ 21%

► Система за контрол на температурата

Интелигентен температурен контролер JAPAN RKC, програмиране и настройка на фиксирана стойност, автоматична настройка на AT, корекция на отместването и задържане на захранването при изключване.

► Принудителна конвекция на въздуха

Патентованият въздуховод в системата за циркулация на горещ въздух може автоматично да регулира равномерността на температурата.

Характеристики за анаеробни (инертни) пещи

► Херметически затворено студио от неръждаема стомана, за да се предотврати проникването на външна атмосфера

► Използвайте азотен инертен газ за анаеробна термична обработка

► Оборудвани са дебитомер и манометър

► Мултизащитни предпазни устройства

Опции

► PLC+7” програмируем контролер

► Трицветна мигаща светлинна аларма

► Ограничител на прегряване

► Ръчни предпазни устройства

Защо да изберете фурни с инертна атмосфера?

В наши дни материалите за окабеляване във веригите са преминали от алуминий към мед с по-ниско съпротивление. Следователно, когато са термично обработени в нормална сушилня, медните части могат да се окислят, причинявайки дефекти. Освен това се извършва и стареене при 250 градуса C, за да се провери дали данните, записани на флаш паметта, са били изтрити поради електромиграция и дали частите на неравностите са окислени, така че съдържанието на кислород трябва да бъде намалено до <100ppm. Тази анаеробна фурна е разработена, за да отговори на тези изисквания.

Приложение

Пещите в инертна атмосфера се използват главно за втвърдяване на BPO лепило/PI лепило/BCB лепило, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, високопрецизни електронни компоненти и други материали в среда с ниско съдържание на кислород за тестове за сушене и стареене .